
多功能测量显微镜 JL107J
主要用途:
多功能测量显微镜采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量,特别适用于电子行业,超精密机械加工。用来测量大规模集成电路线宽和精细小工件的几何尺寸,以及其它精密零件测量。广泛地适用于计量室,生产作业线以及科学研究等部门。
多能功测量显微镜JL107JA型配有高精度的工作平台和日本三丰测微手轮。从而保证仪器的高精度性,是一种理想的多用途的小型精密测量仪器。
本仪器是无穷远光学系统,配置高数值孔径物镜,且采用高精度的工作平台,可选配日本Mitutoyo的高精密数显测微头。操作方便,可靠性极强。仪器放大倍数高,工作台具有XY直角坐标系和O点极坐标系,玻璃工作台可以360度旋转。107JA系列都可以进行垂直高度的测量。照明系统除作透、反射照明外,还可作斜光线照明。
本仪器不仅可以做为测量仪器使用,还可以用作不透明物体的观察与测量。是一台综合型的测量仪器。并具有明暗场,微分干涉,FA测量等扩展功能,适用范围更广泛。
主要技术规格:
镜筒 | 头 部 | 三目,30?倾斜,可100%通光摄影 |
粗 动 | 立杆调节80mm,调节范围30mm |
微 动 | 0.001mm/格 |
高度(Z轴)测量 | 10~25mm(可选) 最小读数0.001mm(干分表读数) |
工作台 | 尺 寸 | 工作台160*160mm |
左右(X轴) | 移动范围50mm |
前后(Y轴) | 移动范围50mm |
测量分度值 | 0.5um |
玻璃工作台 | 360°旋转,分度值5" |
手轮 | 数 显 | XY数显解析度0.001mm |
普 通 | 手轮读数0.01mm(定制0.005mm) |
光学系统 | 目 镜 | WF 10X/22mm |
无穷远平场长工作距离物镜 | PLL5X 工作距离:26.1mm |
PLL10X 工作距离:20.2mm |
PLL20X工作距离:8.80 mm |
PLL40X 工作距离:3.68mm |
PLL60X工作距离:3.18 mm |
其它 | 滤色片 | 蓝、绿、黄、磨砂 |
正交偏光 | 透反射机型中配有 |
照明系统 | 光源 | 透射照明 | LED光源 蓝、绿滤色片 |
反射照明 | 12V50W 卤素灯 |
电 源 | AC 220V±10% 50/60HZ |
选购件 | 成像设备 | 数码摄像头、单反相机 |
数显屏幕 | 数显屏幕或屏幕成像 |
手轮 | 三丰手轮或数显手轮 |
目镜 | 带尺目镜或十字分划目镜 |
物镜 | 长工作距离PLL50X,PLL80X,PLL100干镜 |
其它 | 荧光装置,DIC装置,FA系统 |
