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等离子化学气相沉积系统 石墨烯快速生长炉 管式PECVD

起批量
1

产品属性

品牌
科佳
型号
KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S
额定温度
1200
功率
6000
主要用途
是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
最大电压
220
加工定制

郑州科佳电炉有限公司位于郑州电子商务产业园,公司是专业做各种高温加热设备的生产厂家,产品主要用于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向。公司主营产品有真空热压炉、箱式马弗炉,管式电阻炉,真空炉,气氛炉,CVD系统,牙科炉,升降炉,轨道炉等。

咨询电话: 马赛  QQ:2540552457

邮箱:service@zzkjdl.com

 

产品介绍:


KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S型高温真空CVD设备由KJ-T1200滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ,最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合,可以对多种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。

KJ-T1200-S6015LK1-H系列快速退火炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率最大可达100°C/m。为取得最快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的理想炉子。



应用范围:

KJ-T1200-S6012CK-3F5S型高温真空CVD设备是一种特殊的高真空CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。

规格参数:

 

结构采用双层壳体结构,并带有分冷,使得壳体表面的温度小于55°C。保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维可以环保节能,减少热量的损失内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
加热元件
 掺钼合金加热丝
 
工作温度 1100°C
最高温度 1200°C
最大升温速率  5°C/min
最大降温速率 5°C/min
加热区长度 455mm (18")
恒温区长度 150(+/-1°C)
温控系统一个精密温度控制器 PID方式控制,通过可控硅 SCR可设置30段升降温程序。
控温精度 +/-1°C
炉管材质和尺寸石英管           ID: 72mm x  OD: 80 mm   x 1000 mm 
密封法兰两个不锈钢密封法兰,法兰上已经安装数字式真空显示计,和阀门通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr,泄漏率最大6 mtorr/min
输入电源AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率:最大5KW
真空泵和配件真空泵一个双旋片式机械泵安装在移动架内通过此机械泵真空度可以达到 5x10^-2 torr 
配件标配的真空配件: 一对不锈钢 密封法兰和KF-25 真空泵接口,两个不锈钢针阀, 1/4"的软管接头一个1000mm长的KF-25 不锈钢波纹管和四个KF-25不锈钢快速卸装卡箍一个LED数字式真空显示计(测量范围: 0.1mtorr ~ 850 torr) 
气体流量计4个浮子流量计,可同时混入4种不同气体。 
四通道控制 精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、底部装有泄废液口
MFC 1范围 0~100 sccm
MFC 2和3 0~500 sccm
进气接口 1/4NPS
出气接口 1/4NPS    
产品尺寸外径80 & 1000mm 的氧化铝石英管 
炉体尺寸:550 x 500 x 700mm L x W x H
混气系统:: 600 x 600 x 700mm 真空机组: 600 x 600 x 700mm

说明:1、本产品的规格参数仅供参考,以具体产品实际参数为准,请与销售及咨询客服人员。

     2、产品图片及外观尺寸在不断研发更新中、如有更改恕不另行通知。

     3、除标准产品外、我公司可根据客户要求,进行设计生产,具体与销售人员联系

     


规格参数
型号 KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S   额定温度 1200  ( ℃)
功率 6000  (W) 主要用途 是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。  
最大电压 220  (V) 品牌 科佳  
加工定制 否   产品认证 CE认证  
包装参数
体积(m²)
产品重量(kg)
代理商供货
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